所属单位名称：
宇环数控机床股份有限公司
仪器用途：
机械工程
功能用途说明：
利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
技术性能指标：
线性测量精度：±0.5ppm，激光稳频精度：±0.05ppm，分辨率：1nm。