所属单位名称：
国防科学技术大学
仪器用途：
材料，医药，公共安全
功能用途说明：
光学非球面的尺寸误差、形状误差和表面粗糙度测量
技术性能指标：
横向测量范围约为200mm、测量精度优于1/5λ（λ=632.8nm）、纵向量程约为10mm、纵向分辨率达到0.1nm。